從去年3月30日正式開(kāi)工建設，到今年4月1日，僅12個(gè)月，首張半導體光罩樣片成功“問(wèn)世”。
興華芯（紹興）半導體科技有限公司總經(jīng)理曾振瑞感慨地說(shuō)，這是他和團隊成員們在柯橋這片創(chuàng )業(yè)熱土上創(chuàng )造出的一段“佳話(huà)”！
表面呈正方形，長(cháng)、寬均為6英寸，厚度達0.25英寸，猶如一塊透明玻璃……4月2日下午，曾振瑞難掩激動(dòng)之情，作為一名有著(zhù)20余年光罩產(chǎn)業(yè)從業(yè)經(jīng)驗的“行家里手”，他指著(zhù)手中的半導體光罩樣片向記者自豪地介紹道，“別看這小小的一片樣品，可是我們81人的大團隊一年來(lái)努力的‘結晶’！”
眾所周知，光刻技術(shù)是集成電路制造技術(shù)的重要組成部分，而光刻光罩是光刻技術(shù)中最核心的環(huán)節之一，光刻光罩上的圖形模式直接影響著(zhù)芯片制造的精度和質(zhì)量。一直以來(lái)，由于在技術(shù)方面長(cháng)期遭到國外“卡脖子”，半導體芯片制造的“自主可控”已成為國內當下產(chǎn)業(yè)發(fā)展的主攻方向之一。
這次“興華芯”首張半導體光罩樣片成功產(chǎn)出，無(wú)疑是個(gè)好開(kāi)端。“目前，我們已實(shí)現每月產(chǎn)能1350片，等二期項目產(chǎn)能全部釋放后可達到3000片/月。”曾振瑞表示，目前半導體光罩市場(chǎng)中，國產(chǎn)替代率尚不足20%，市場(chǎng)前景非常好。隨著(zhù)公司產(chǎn)能的進(jìn)一步提升，今后將成為國內最大規模的光罩基地之一，預計全部達產(chǎn)后可年產(chǎn)半導體光罩3.6萬(wàn)片，實(shí)現年銷(xiāo)售17億元、利潤5億元。
同樣令曾振瑞印象頗深的，還有來(lái)自于杭紹臨空示范區紹興片區對項目的全方位支持和“保姆式”服務(wù)。無(wú)論是從政府政策支持和資金補助，還是在項目推進(jìn)建設中的解難紓困，過(guò)程中的“臨空速度”“臨空服務(wù)”都讓他連連稱(chēng)贊。
“光罩”僅僅是“興華芯”在半導體創(chuàng )業(yè)版圖中的一個(gè)局部。在曾振瑞看來(lái)，起好了步，以后的步子才能邁得更加穩健。今后，公司還將由此孵化和帶動(dòng)更多的半導體芯片上下游產(chǎn)業(yè)發(fā)展，進(jìn)而從“鏈”到“群”形成良性循環(huán)，在柯橋打造光電信息產(chǎn)業(yè)集聚區，加快形成新質(zhì)生產(chǎn)力，將光電信息產(chǎn)業(yè)打造成區域經(jīng)濟增長(cháng)的新引擎。
